公告：
喜報(bào)！雷子科技通過“高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定！
∷ 
代工各類精密直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、半導(dǎo)體及檢測運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
一款直驅(qū)三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，XY軸十字疊層三片式結(jié)構(gòu)，配備自潤滑的精密滾柱導(dǎo)軌，承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)，R軸轉(zhuǎn)臺(tái)結(jié)構(gòu)扁平薄，可360度旋轉(zhuǎn)，采用光柵閉環(huán)反饋和防塵設(shè)計(jì)。用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗(yàn)等領(lǐng)域。
Tips：絲桿模組行程超過750mm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請將降低速度；最高速度是以伺服馬達(dá)最高轉(zhuǎn)速3000RPM以下為基準(zhǔn)；馬達(dá)加減速設(shè)定為0.2s。
注意：限于文件大小和數(shù)量限制，高清產(chǎn)品手冊PDF版及完整的產(chǎn)品3D模型STEP文件，請聯(lián)系我司業(yè)務(wù)人員獲取，給您帶來不便敬請諒解！
應(yīng)用領(lǐng)域：
一款直驅(qū)三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，帶旋轉(zhuǎn)功能用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗(yàn)等領(lǐng)域。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：
XY軸十字疊層三片式結(jié)構(gòu)，底軸寬度約是上軸長度的2/3，移動(dòng)到極限位置時(shí)，防止重心不穩(wěn)定。配備自潤滑的精密滾柱導(dǎo)軌，承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)。R軸轉(zhuǎn)臺(tái)結(jié)構(gòu)扁平薄，三軸疊層后降低工作點(diǎn)的高度，可360度旋轉(zhuǎn)，用于角度調(diào)整，是晶圓切割加工應(yīng)用的理想選擇。
精度性能：
采用光柵閉環(huán)反饋，考慮材料的熱膨脹影響，加工工藝和裝配工藝等，使XY軸重復(fù)定位精度≤±0.4μm，全行程直線度±1μm和平面度±1.25μm，R軸微動(dòng)步距1arc sec。
防塵管理：
精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的防塵設(shè)計(jì)，有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進(jìn)入直線臺(tái)，影響使用壽命，同時(shí)不受防塵罩?jǐn)_動(dòng)力的影響。
定制化：
根據(jù)應(yīng)用可選擇多種行程、定制高加速度提升生產(chǎn)效率等；可配置大理石立柱、橫梁、支撐鋼架整套系統(tǒng)方案。
本文關(guān)鍵詞： 精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
